実験設備

LAB EQUIPMENT

成膜装置・デバイス作製装置

top 光学分析用蒸着機(分光エリプソメータ連結によるin situ分析可)

top デバイス作製用蒸着機(グローブボックス連結)

top 無機材料用蒸着機

top スピンコータ

分析・評価装置

top 多入射角分光エリプソメータ

top 有機EL特性評価系

top 紫外可視分光光度計

top FTIR分光光度計

top 反射率測定装置

top 発光量子収率測定装置

top 発光角度分布評価系

top 顕微ラマン測定系

top インピーダンスアナライザ

top 接触角計

その他

窒素レーザ
小型半導体レーザ(405, 440, 532, 635, 690 nm)
昇華精製装置
UVオゾンクリーナ
サブフェムトアンペアソースメータ
ファンクションジェネレータ
デジタルオシロスコープ
クリーンベンチ
計算用ワークステーション
など

大学共用設備

AFM、SEM、薄膜X線回折装置 など